アルバック、独ボッシュとＭＥＭＳ用ＰＺＴ圧電素子デバイスの共同開発で合意

　アルバック <6728> は８日引け後、独ボッシュとＭＥＭＳ用ＰＺＴ圧電素子デバイスの共同開発で基本合意したと発表した。ボッシュは今後の先端ＭＥＭＳの開発に、アルバックのスパッタリングシステム「ＳＭＥ－２００」を採用していく。 　ＭＥＭＳ技術の発展でＰＺＴを圧電素子として用いたセンサーやアクチュエーターが実用化されてきたが、薄膜形成やドライエッチングなどの半導体製造技術は、より高品質な圧電素子を作成するために重要な技術になるとみている。 　アルバックの８日終値は４円安の１８２９円。（編集担当：宮川子平）